Au膜结构及其微观应变的测定

被引：4

作者：

何荔

丛秋滋

孙嘉奕

机构：

[1] 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室!兰州

来源：

分析测试学报 | 1999年 / 06期

关键词：

X射线衍射; 金; 膜; 微观应变;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

介绍用Ｘ－射线衍射方法测定Ａｕ薄膜材料结构及其微观应变。利用不对称布拉格反射ＳＴＤ（ｓａｍｐｌｅｔｉｌ＿ｔｉｎｇｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）扫描模式与常规ＣＢＤ（ｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌＢｒａｇｇｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）扫描模式，确定Ａｕ膜的结构及取向，同时采用直接测量法（非卷积法）来测定Ａｕ的微观应变。

引用

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