用于超宽焦斑光束整形的大口径衍射光学元件设计和制作

被引：4

作者：

赵逸琼

王建东

张晓波

李永平

伍源

王旭迪

傅绍军

机构：

[1] 中国科学技术大学物理系

[2] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室

[3] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室安徽合肥

[4] 安徽合肥

[5] 安徽合肥

来源：

量子电子学报 | 2005年 / 02期

关键词：

应用光学; 衍射光学元件; 准梯度下降法; 镂空掩膜板; 离子束刻蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

摘要：

采用改进混合优化算法首次设计并制作了口径168.7 mm的连续衍射光学元件实现类环形光束入射,输出直径650μm超宽焦斑光束均匀照明。用Nd:YAG脉冲激光器1.064μm波长激光进行实验,获得了与设计尺寸相符、边缘陡峭、无中心尖锐脉冲、具有极好的离焦宽容性的宽焦斑,但焦斑顶部不均匀性较大。对此进行了深入的模拟分析,结果表明:焦斑顶部较大的光强调制主要来源于现有的工艺及实验条件误差。

引用

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页数：5

共 4 条

[1] Design of a diffractive optical element for wide spectral bandwidth. Arieli Y,Ozeri S,Eisenberg N,et al. Optics Letters . 1998
[2] Iterative algorithm for the design of diffractive phase elements for laser beam shaping. Liu J S,et al. Optics Letters . 2002
[3] Field stitching algorithm for the analysis of electrically large diffractive optical elements. Prather D W,Shi S Y,Bergey J S. Optics Letters . 1999
[4] Diffractive optical elements with continuous felief fabricated by focused ion beam for monomode fiber coupling. Fu Y Q,Ngoi K A B,Ong N S. Optics Express . 2000

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