热熔微透镜阵列的综合性能测试

被引：5

作者：

许乔，叶钧，包正康，侯西云

机构：

[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

来源：

仪器仪表学报 | 1996年 / S1期

关键词：

微透镜阵列，微光学，测试，光刻胶;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1996.s1.031

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

我们运用光刻胶热熔成形的方法，制作了２０×２０的折射型微透镜阵列，单元透镜直径为９０μｍ，中心间隔１００μｍ。此微透镜阵列具有极好的均匀性。本文详细讨论了对此阵列的焦距、透镜的形状及面形质量、波像差及点扩散函数等参数的测试方法及实验结果。实验结果表明，该微透镜阵列在０．３数值孔径下达到了衍射极限的光学性能。

引用

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