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气体纯化.[M].吴彦敏 编.国防工业出版社.1983,
超高纯氢的制备
被引：29
作者：
李义良
机构：
[1] 北京氧气厂
来源：
关键词：
超高纯氢,精制方法,纯化装置;
D O I：
暂无
中图分类号：
TQ116.2 [氢气];
学科分类号：
082801 [农业机械化工程];
摘要：
综述了超高纯氢在超大规模集成电路制造和光导纤维制造中的应用、质量标准和数量需求情况，以及原料氢的来源，精制方法和纯化装置
引用
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页数：3
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