四配位非晶碳薄膜的研究进展

被引:2
作者
魏爱香
周友国
机构
[1] 海军广州舰艇学院!广东广州
基金
广东省自然科学基金;
关键词
四配位非晶碳薄膜; 制备方法; 形成机理; 结构和性能; 应用前景;
D O I
暂无
中图分类号
TB383 [特种结构材料];
学科分类号
070205 ; 080501 ; 1406 ;
摘要
四配位非晶碳薄膜是近年来发展的一种新型宽带隙半导体材料 ,具有独特的物理和化学特性。本文对四配位非晶碳薄膜的研究意义 ,制备方法 ,形成机理 ,结构和性能表征及应用前景作较全面的介绍。
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共 1 条
[1]  
Properties of amorphous diamond films prepared by a filtered cathodic arc. Lossy R,Pappas D L, Roy R A, et al. Journal of Applied Physics . 1995