一种16位高速D/A转换器的研究

被引:1
作者
李荣强
石建刚
何开全
机构
[1] 模拟集成电路国家重点实验室 中国电子科技集团公司第二十四研究所
[2] 模拟集成电路国家重点实验室 中国电子科技集团公司第二十四研究所 重庆
[3] 重庆
关键词
数字/模拟混合电路; D/A转换器; BiCMOS工艺;
D O I
暂无
中图分类号
TN792 []; TN433 [BICMOS(双极-MOS混合)集成电路];
学科分类号
080902 ; 080903 ; 1401 ;
摘要
介绍了一种16位高速D/A转换器的电路设计、工艺制作和测试结果。该电路为高性能数字/模拟混合电路,工作电压±5.0V,转换速率≥30MSPS,建立时间50ns,增益误差±8%FSR,积分非线性误差LSB,并行输入类型,电流工作模式,功耗500mW,采用2.0μmBiCMOS工艺制作。该工艺包括减压薄外延、高压氧化等平面隔离、可修调SiCr电阻、双层金属布线、12次离子注入、21次光刻。NPN晶体管特征频率fT为4.0GHz;CMOS管的栅氧化层为30nm,耐压为12.0V。
引用
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页码:689 / 693+697 +697
页数:6
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微电子学, 2002, (03) :222-224
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