飞秒激光烧蚀石英玻璃的实验与理论研究

被引:15
作者
邓蕴沛
贾天卿
冷雨欣
陆海鹤
李儒新
徐至展
机构
[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所
关键词
飞秒激光脉冲; 破坏机理; 石英玻璃; 电子扩散;
D O I
暂无
中图分类号
O439 [应用光学];
学科分类号
摘要
实验研究了 80 0nm飞秒激光作用下石英玻璃的破坏机理和烧蚀规律 ,给出了破坏阈值与脉冲宽度的关系 .发展了雪崩击穿模型 ,计算了材料的烧蚀阈值与脉冲宽度的依赖关系 ,烧蚀深度、烧蚀体积与脉冲能量的依赖关系 ,研究了导带电子的扩散对材料中激光能量的沉积、分布 ,以及材料的破坏阈值和烧蚀规律的影响 .
引用
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页码:2216 / 2220
页数:5
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