倾斜式测量系统的傅里叶变换轮廓术研究

被引:4
作者
徐建亮
汪敏
潘慧
刘晓辉
戚晓利
许四祥
机构
[1] 安徽工业大学机械工程学院
关键词
傅里叶变换轮廓术; 倾斜式; 测量系统; 相位;
D O I
暂无
中图分类号
TG806 [技术测量方法];
学科分类号
0805 ;
摘要
在传统傅里叶变换轮廓术的研究基础上,本文提出了一种倾斜式测量系统的傅里叶变换轮廓术,该技术放宽了传统傅里叶变换轮廓术测量系统的三个约束条件:CCD成像系统的光轴不需要与参考平面垂直,即有一定的倾斜度;投射系统的出瞳和CCD成像系统的入瞳中心之间的连线不需要与参考平面平行;投射系统的光轴和CCD成像系统的光轴不在同一平面内,且不交于参考平面上一点.并且通过严格的理论分析,推导出高度与相位之间的关系式,与传统傅里叶变换轮廓术相比较,在保证一定的测量精度的前提下,倾斜式测量系统具有更强的实用性和可操作性.
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页码:332 / 337
页数:6
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