一种用于LSPR传感的纳米金属列阵制作方法

被引：5

作者：

李飞

罗先刚

朱少丽

杜春雷

邓启凌

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室

来源：

纳米技术与精密工程 | 2007年 / 02期

关键词：

纳米金属列阵; 纳米球自组装; 局域表面等离子体;

D O I：

10.13494/j.npe.2007.026

中图分类号：

TB383.1 [];

学科分类号：

摘要：

提出利用光刻定位自组装填充的方法制作纳米金属列阵.在平面基板上通过光刻手段制作具有列阵微区的定位模板,再利用单分散聚苯乙烯纳米球在微区里进行自组装,得到单层规则排布的纳米球结构;进一步沉积金属后,通过去牺牲层工艺去除球体,可得到呈六角形分布的纳米金属列阵结构;最后对获得的纳米金属列阵结构的形貌和光学性能进行分析,给出金属纳米列阵结构的电子显微镜照片和消光谱.

引用

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