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压力传感器的设计制造与应用.[M].孙以材等编著;.冶金工业出版社.2000,
压阻式硅微型加速度传感器的研制
被引：14
作者：
席占稳
机构：
[1] 南京理工大学机械工程学院江苏南京
来源：
关键词：
压阻式加速度传感器;
硅;
微加工;
D O I：
10.13873/j.1000-97872003.11.011
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器,对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn,双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn,结果与理论设计值基本吻合。
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