固体浸没透镜高密度光存储系统的焦深

基于矢量衍射理论,分析和比较了两种等光程的半球形(h-SIL)和超半球形(s-SIL)固体浸没透镜的光场分布,计算了4种材料(玻璃,Si,GaP,金刚石)SIL的焦深和光斑大小。结果表明:当数值孔径相同时,h-SIL的焦深较s-SIL的焦深大,焦深对SIL的折射率比较敏感,而光斑大小对波长照明比较敏感。h-SIL的焦深随透镜数值孔径的增加迅速单调减小,而s-SIL的焦深随透镜数值孔径的增加呈现出只一个周期的振荡行为。s-SIL对透镜的数值孔径要求较低,它更适合应用于高密度光存储和精密光刻。