正面腐蚀方法制作新型微机械红外热堆探测器

被引：2

作者：

徐峥谊

熊斌

王跃林

戈肖鸿

机构：

[1] 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点联合实验室

[2] 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点联合实验室上海

[3] 上海

来源：

关键词：

微机电系统; 红外热堆; 正面腐蚀; 各相异性腐蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN215 [红外探测、红外探测器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

阐述了微机械制造工艺制作红外热堆探测器的方法 ,其采用新的正面湿法腐蚀的方法释放体硅 ,获得悬梁结构的红外热堆探测器。该探测器用LPCVD(低压化学气相沉积 )氮化硅膜 ,与热氧化得到的氧化硅膜形成三明治结构作为热偶对的支撑结构 ;热偶材料采用多晶硅与金属。实验结果表明这是一种很有前景的制作方法

引用

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