一种基于多孔硅微腔光学特性的气体传感器的研究

被引：4

作者：

李志全 ^{[1
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张冉 ^{[1
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张乐欣 ^{[2
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杨红艳 ^{[1
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朱丹丹 ^{[1
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白志华 ^{[1
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机构：

[1] 燕山大学仪器科学与工程系

[2] 燕山大学材料科学与工程学院亚稳材料国家重点实验室

来源：

传感技术学报 | 2007年 / 01期

关键词：

多孔硅微腔; 种类辨别; 传输矩阵; Bruggeman介电常数近似理论; 毛细冷凝; 反射谱;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

当有机物分子吸附到多孔硅表面时,由于有机物分子在多孔硅的孔内的毛细冷凝作用,将引起多孔硅层有效折射率的变化,从而导致多孔硅微腔反射谱吸收峰峰位的变化.本文主要利用Bruggeman介电常数近似理论与传输矩阵的方法,建立了多孔硅微腔的传感模型.使用多孔硅微腔的反射谱实验装置对多孔硅微腔进行了传感实验,结果证明多孔硅微腔传感元件可以实现对有机物蒸汽的检测,且分辨率较高,响应时间和恢复时间短,可重复性好.

引用

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