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- [4] Dimensional micro and nano metrology[J]. CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2006, 55 (02) : 721 - 743Hansen, H. N.Carneiro, K.Haitjema, H.De Chiffre, L.
微米纳米计量及三维电子显微的发展和前沿
被引：2
作者：
古耀达
[1
]
周伦彬
[1
]
黄志斌
[1
]
王海燕
[1
]
蔡永洪
[1
]
孙晓辉
[2
]
机构：
[1] 广州计量检测技术研究院
[2] 广州工程技术职业学院
来源：
关键词：
微纳米科技;
SEM;
计量;
三维重构;
不确定度;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB92 [几何量计量];
TN16 [电子光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
080401 ;
摘要：
对微纳米科技的发展现状和发展前沿进行了综述,对微纳米科技中涉及几何量计量的技术进行了简要介绍,同时讲述了现有典型的微纳米几何量测量系统。重点介绍了测量范围大,分辨率高、横纵分辨比平衡的扫描电子显微技术,提出了场发射扫描电镜三维重构的问题,也为今后研究提供了分析基础。最后对电子显微三维重构技术的未来进行了展望。
引用
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页数：2
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