离子束辅助沉积MoS2复合膜的XPS和ESR特性分析

被引：9

作者：

富均

杨传仁

杨大本

王培禄

黄宁康

机构：

[1] 电子科技大学材料系!成都

[2] 四川大学原子核科学技术研究所!成都

来源：

真空科学与技术 | 1999年 / 02期

关键词：

抗湿性能; 离子束辅助沉积; 复合膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN304.055 [];

学科分类号：

摘要：

通过IBAD技术制备了MoS2 +Ag(Cu)复合膜 ,并利用XPS和ESR考察了复合膜的氧化情况。发现在RH为 6 0 %的大气环境下 ,Cu的掺入加速了MoS2 的氧化 ,相反Ag的加入却使MoS2 的氧化受到抑制 ;XPS发现MoS2 +Cu复合膜中存在Mo6 + ,ESR却并没发现中间态Mo5+ ;而XPS没有检测到MoS2 +Ag膜中有Mo6 + ,ESR却发现Mo5+ 。这说明Mo5+ 受化学环境影响较大

引用

页数：4