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光电测微系统中的聚焦伺服控制
被引:3
作者:
邹志革
黄声华
叶嘉雄
机构:
[1] 华中科技大学
[2] 华中科技大学 湖北武汉
[3] 湖北武汉
来源:
关键词:
光电测微;
聚焦伺服;
音圈电机;
PID校正;
数字控制;
D O I:
暂无
中图分类号:
TM383.4 [伺服电机];
学科分类号:
080801 ;
摘要:
介绍了光电测微系统的基本原理及其构成,分析了该系统的关键环节即聚焦伺服系统,建立了音圈电机的数学模型。在此基础上,详细介绍了采用PID校正网络提高系统的稳定性和响应速度的方法,并用Matlab进行仿真,仿真效果令人满意。
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