X射线透射法测量膜厚

被引：6

作者：

王轲

陶小平

孙晴

张增明

孙腊珍

机构：

[1] 中国科学技术大学理学院

来源：

物理实验 | 2008年 / 04期

关键词：

膜厚; X射线; 透射;

D O I：

10.19655/j.cnki.1005-4642.2008.04.014

中图分类号：

O484.5 [薄膜测量与分析];

学科分类号：

摘要：

薄膜厚度不仅与薄膜的电导率有关,而且与薄膜的光学性能甚至表面结构密切相关.薄膜厚度的测量精确有助于研究薄膜的物理性能.本文利用X射线在材料中传播的特征设计了大学物理实验室测量薄膜厚度的方法.

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页数：3

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