MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用

被引：6

作者：

卿健

石艳玲

赖宗声

朱自强

机构：

[1] 华东师范大学电子科学技术系

[2] 华东师范大学电子科学技术系上海

[3] 上海

来源：

微电子学 | 2002年 / 04期

基金：

高等学校博士学科点专项科研基金;

关键词：

MEMS; 移相器; PIN二极管; 通信系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN623 [移相器、铁氧体移相器];

学科分类号：

080903 ;

摘要：

从传统移相器的构造和原理出发 ,进一步分析了 MEMS移相器的结构、特性。结果表明 ,MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。随着高阻硅衬底在微波领域应用的扩展 ,MEMS移相器介质损耗大幅度降低 ,将能与信号处理电路一同集成于硅衬底上 ,便于相控阵雷达等通信系统实现微小型化

引用

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