关键技术对非对称型GCT的影响

在建立GCT器件模型的基础上,利用silvaco软件,研究了缓冲层与透明阳极结构对GCT性能影响。模拟结果表明,决定GCT的通态压降的关键因素是缓冲层与透明阳极各自区域中的总杂质量。通过协调各自区域的峰值掺杂浓度与厚度,可以合理地控制该区域的总杂质量,降低GCT的通态压降。这些结果对于进一步优化GCT器件设计与制造有着重要的参考价值。