X射线干涉仪中单晶硅微动工作台的研制

被引：3

作者：

王林

李达成

曹芒

机构：

[1] 清华大学精密测量技术及仪器国家重点实验室!北京,清华大学精密测量技术及仪器国家重点实验室!北京,清华大学精密测量技术及仪器国家重点实验室!北京

来源：

仪器仪表学报 | 2000年 / 06期

关键词：

纳米测量; 高精度微动工作台; X射线干涉测量;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2000.06.029

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

目前国际上 X射线干涉仪所采用的微动工作台均采用对称式柔性铰链结构 ,其缺点是侧滑角大 ,严重影响干涉信号的对比度 ,很容易产生干涉条纹的记数误差。为此提出了非对称结构微动工作台的设计思想 ,并引入有限元方法进行了结构参数优化 ,研制了整体式 X射线干涉仪。理论分析和实验表明 :利用非对称结构研制的 X射线干涉仪 ,分析器的侧滑角显著下降 ,干涉信号的对比度大大提高 ,更适合 X射线干涉纳米测量的要求

引用

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