非掺杂ZnO薄膜中紫外与绿色发光中心

被引：50

作者：

林碧霞

傅竹西

贾云波

廖桂红

机构：

[1] 中国科学技术大学结构分析开放实验室!合肥

[2] 中国科学技术大学物理系

[3] 合肥

[4] 中国科学技术大学物理系!合肥

来源：

物理学报 | 2001年 / 11期

基金：

安徽省自然科学基金;

关键词：

ZnO薄膜; 热处理; 光致发光光谱; 缺陷能级;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

用直流反应溅射方法在硅衬底上淀积了ZnO薄膜 ,测量它们的光致发光 (PL)光谱 ,观察到两个发光峰 ,峰值能量分别为 3 .18(紫外峰 ,UV)和 2 .3 8eV(绿峰 ) .样品用不同温度分别在氧气、氮气和空气中热处理后 ,测量了PL光谱中绿峰和紫外峰强度随热处理温度和气氛的变化 ,同时比较了用FP LMT方法计算的ZnO中几种本征缺陷的能级位置 .根据实验和能级计算的结果 ,推测出ZnO薄膜中的紫外峰与ZnO带边激子跃迁有关 ,而绿色发光主要来源于导带底到氧错位缺陷 (OZn)能级的跃迁 ,而不是通常认为的氧空位 (VO)、锌填隙 (Zni)或锌空位 (VZn)、氧填隙 (Oi) .

引用

页码：2208 / 2211

页数：4