压电驱动微型喷雾器的研究

被引:13
作者
刘长庚
周兆英
王晓浩
叶雄英
机构
[1] 清华大学精密仪器及机械学系微机械研究室!北京
关键词
微喷系统; 压电驱动; 微加工技术;
D O I
暂无
中图分类号
TN384 [铁电及压电器件];
学科分类号
0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;
摘要
研究开发了一种压电驱动微型喷雾器。利用微机械加工技术 ,制作微米级的喷孔阵列。基于喷墨打印机原理 ,微喷换能器采用压电驱动方式在其较高阶谐振状态下工作。实验分析了这种微喷换能器的阻抗特性、谐振状态下振动特性以及微型喷雾器的工作性能。实验结果表明 ,这种喷雾器喷出的雾滴直径大小集中 ,工作稳定且容易控制喷雾量。
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药用气雾剂.[M].毛磊编著;.中国医药科技出版社.1997,