X射线法测量ICF靶丸参数中表面轮廓法的应用

被引:12
作者
刘元琼
罗青
王明达
机构
[1] 中国工程物理研究院核物理与化学研究所!绵阳市-信箱
[2] 不详
关键词
X射线法; ICF靶; 表面轮廓法;
D O I
暂无
中图分类号
TL619 [];
学科分类号
摘要
在 ICF靶参数测量中 ,用接触 X射线显微辐射照相法记录微球 X射线图像 ,采用精密表面轮廓仪处理微球 X射线图像 ,直接测量了单层微球壁厚。与光干涉法比较 ,两种方法测量结果相差小于 0 .3 μm。
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共 4 条
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