薄膜-基底的几个力学问题

被引：7

作者：

余寿文

机构：

[1] 清华大学北京

来源：

关键词：

薄膜-基底; 薄膜力学; 界面力学; 破坏模式; 应力奇异性;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文介绍了近年微电子薄膜-基底组件的几个力学问题:连接件边界及端部的应力集中和应力奇异性;不同薄膜-基底和界面的组合与相应的破坏模式和力学分析,薄膜与界面的力学参量的测试方法,文末提出了薄膜-基底组件的几个需要进一步研究的力学问题.

引用

页码：1 / 8

页数：8

共 7 条

[1] 断裂损伤与细观力学 [J].

余寿文 .

[2]

叠层复合材料搭接接头的层间应力[J]. 张福范.中国科学(A辑数学物理学天文学技术科学). 1987(07)

[3]

弹塑性断裂力学[M]. 清华大学出版社 , 黄克智, 1985

[4]

Stress singularities in a two-material wedge[J] . V. L. Hein,F. Erdogan.International Journal of Fracture Mechanics . 1971 (3)

[5]

Kokini K.J. Appl.Mech . 1988

[6]

Suhir E,J. Appl.Mech . 1989

[7]

Chen W T and Nelson C W. IBM J.Res.Develop . 1979