物理气相沉积减摩与耐磨薄膜

被引：10

作者：

于德洋

翁立军

机构：

[1] 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室

来源：

关键词：

物理气相沉积,薄膜润滑,减摩,耐磨,机械－化学作用机理;

D O I：

10.16078/j.tribology.1996.03.015

中图分类号：

TH117.1 [摩擦与磨损];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

在摩擦学研究的基础上，综合评述与探讨了物理气相沉积薄膜摩擦和磨损的机械－化学作用机理；根据这种机理分析讨论了对物理气相沉积润滑和耐磨薄膜的基本要求；提出了实现这些要求的物理气相沉积的技术基础

引用

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