软X射线多层膜与衰减膜研究附视频

采用随机数的方法 ,发展了一种普适的多层膜设计方法 ,这种方法除可设计一般的周期多层膜 ,更重要的是它可以根据选定的评价因子 ,设计不同要求的非周期多层膜。用磁控溅射方法完成软 X射线多层膜制备 ,X射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性 ,所得结果说明多层膜的结构完整 ,周期参数正确。用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软 X射线半反半透分束镜 ;分析了 Ag和 Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响 ,并对衰减系数进行了修正 ,为实验提供优质的衰减膜。