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半导体器件制造工艺常用数据手册[M]. 电子工业出版社 , 刘秀喜, 1992
CIS/CdS薄膜太阳电池工艺探讨
被引：4
作者：
李长健
王俊清
孙云
舒保健
杜兆峰
机构：
[1] 南开大学光电子所
来源：
关键词：
固态源硒化；衬底温度；蒸发速率；膨胀系数;
D O I：
暂无
中图分类号：
TM914.42 [];
学科分类号：
080502 ;
摘要：
本文介绍了用固态源硒化法制备ＣＩＳ太阳电池的工艺和技术关键．对如何提高ＣＩＳ膜的附着性和降低表面粗糙度提出了一些看法和改进措施，并对各环节中造成电池串联电阻过大的因素进行了讨论．
引用
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