高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究

被引：6

作者：

佘东生 ^{[1
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王晓东 ^{[2
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张习文 ^{[1
]}

王立鼎 ^{[2
,1
]}

机构：

[1] 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室

[2] 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室

来源：

仪器仪表学报 | 2010年 / 31卷 / 11期

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

MEMS测试; 动态特性的测试; 高温环境; 微悬臂梁; 激励装置;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2010.11.015

中图分类号：

TB123 [工程振动学];

学科分类号：

0801 ; 080104 ;

摘要：

对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果。

引用

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