金属氧化物半导体气敏机理探析

被引：22

作者：

田敬民

李守智

机构：

[1] 西安理工大学自动化与信息工程学院

[2] 西安理工大学自动化与信息工程学院陕西西安

[3] 陕西西安

来源：

关键词：

气敏传感器; 金属氧化物半导体; 晶粒势垒;

D O I：

10.19322/j.cnki.issn.1006-4710.2002.02.008

中图分类号：

TN304.92 [];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

讨论了金属氧化物半导体表面的气 -气、气 -固反应及其相应的电子过程 ,建立了分析气敏作用机理的理论模型 ,并提出了改进传感器性能的指导性意见。

引用

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