亚波长消反射光栅

被引：11

作者：

陈四海

程志军

黄光

何苗

易新建

机构：

[1] 华中科技大学光电子工程系,华中科技大学光电子工程系,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室武汉,武汉,武汉,武汉,武汉

来源：

光学学报 | 2003年 / 11期

关键词：

物理光学; 二元光学; 等效介质理论; 二维光栅; 亚波长结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

O436 [物理光学（波动光学）];

学科分类号：

摘要：

为了降低消反射光栅的偏振敏感性 ,将等效介质理论推广到二维亚波长结构 ,对一种特定的矩形柱状结构进行了分析。构造了一种分析方法 ,然后利用光栅结构的有关表达式得到这种二维结构的近似等效系数。并设计了适用于 10 .6 μm红外波段的二维亚波长消反射光栅 ,用二元光学的制作工艺在Si衬底上进行了实验制备。测试结果表明 :对中心波长为 10 .6 μm的红外光 ,这种光栅象单层消反射膜一样 ,具有很好的增透效果。

引用

页码：1359 / 1361

页数：3

共 9 条

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