激光诱导醋酸铜乙醇溶液反应直写金属铜线

被引:6
作者
谢湘华,张谊华,方尔梯,膝玉美,曾宪康,杨永刚,黄宣劭
机构
[1] 华东理工大学化学物理研究室,上海市激光技术研究所
关键词
CO2激光,醋酸铜溶液,激光直写,金属铜线,直写速度;
D O I
暂无
中图分类号
TN24 [激光技术、微波激射技术];
学科分类号
0803 ; 080401 ; 080901 ;
摘要
用CO2激光辐照诱导醋酸铜乙醇溶液反应,在石英衬底上激光直写得到金属铜线,研究了不同的写线速度对激光直写的效果,得到一个最佳的写线速度,该写线速度随激光强度的增大而提高。
引用
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页码:252 / 254+260
页数:4
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