磁致伸缩纳米级微量进给机构的实验研究

被引：1

作者：

李旦，郭永丰，董申，刘晋春

机构：

[1] 哈尔滨工业大学

来源：

关键词：

磁致伸缩; Joule效应; 纳米级; 微量进给机构; 微动工作台; 实验研究;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1995.s1.028

中图分类号：

TH701 [理论];

学科分类号：

摘要：

磁致伸缩效应可用作实现纳米级的微量进给。本文对所研制的磁致伸缩机构的性能进行了实验。此机构可在２．５μｍ范围内进行最小位移量为２ｎｍ，位置精度±２ｎｍ的微量位移。本文还介绍了利用磁致伸缩机构实现三向微量进给的微动工作台。

引用

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