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高灵敏度差分电容检测电路的研究
被引：15
作者：
王俊杰
罗裴
机构：
[1] 武汉理工大学微系统中心
[2] 武汉理工大学微系统中心 武汉
[3] 武汉
来源：
关键词：
电容加速度计;
差分测量;
差分电容-电压变换器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TM934 [集中参数、分布参数的测量及仪表];
学科分类号：
080802 ;
摘要：
基于微机械工艺制作的加速度计 ,许多都是采用差动结构电容的变化来反映被测量的方向和大小。针对该需求研制了检测微小电容变化的电路。它检测电容变化的频率范围为 DC～ 30 k Hz,对寄生电阻、电容本质不敏感 ,既可以检测单边电容变化 ,也可以检测差动电容变化 ,而且很容易由分离电路元件实现。该电路输出噪声极低 ,标称电容为 10p F时 ,电容检测分辨率可达 3a F/ Hz,和量程为 1g的电容加速度计连接 ,输出灵敏度为 4 .5 V/ g,加速度检测分辨率可达 7× 10 - 6 g/ Hz
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