Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验

被引：3

作者：

尼启良

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

来源：

光学精密工程 | 2006年 / 06期

关键词：

Xe液体微滴喷射靶; 激光等离子体光源; 极紫外投影光刻;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

基于Xe的惰性和在13～14 nm波段高的辐射强度,Xe被认为是极紫外投影光刻(EUVL)潜在的靶材,为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源。详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13.4 nm的激光-EUV转换效率、辐射稳定性及碎屑产生状况。实验结果表明,Xe在13.4 nm的最高转换效率可以达到0.75%/2πsr/2%bw,辐射稳定性±4%(1σ),在激光打靶105次后无碎屑产生。

引用

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