电容式微型真空传感器在真空绝热板生产中的应用研究

被引：1

作者：

程柏文

汤达斌

冯勇建

机构：

[1] 厦门大学

[2] 厦门大学福建厦门

来源：

关键词：

微型真空传感器; 真空绝热板; 电容-电压转换器; PIC单片机;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.9 [传感器的应用];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

介绍一种基于电容式微型真空传感器的真空度检测系统。系统利用PIC系列单片机对真空绝热板真空度进行实时测量,试验数据表明精度可达10-2Pa,完全满足测量的要求。

引用

页码：56 / 58

页数：3

共 6 条

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