表面三维形貌非接触测量的现状

文章首先指出表面形貌对机械、电子和光学系统的使用性能影响很大,尤其在现代产品生产中,精确可靠地测量表面形貌,日益成为控制和改进加工表面质量的必要条件。作者在对表面形貌的接触式测量方法进行了简要的评介之后,着重就非接触式表面形貌测量方法中主要应用的相移干涉显微镜和扫描隧道显微镜的测量原理和仪器结构作了介绍。