共 2 条
光电反馈式静电悬浮的光电控制系统
被引：8
作者：
王新杰
章海军
黄峰
机构：
[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
来源：
关键词：
静电悬浮;
直流高压;
光电反馈;
比例积分差动控制;
激光三角法;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN36 [半导体光电器件];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
本文给出了基于直流高压静电场的光电反馈式静电悬浮系统的实现方案 ,介绍其工作原理 ,主要讨论该悬浮操作的技术核心 -光电控制系统 ,提出了光电控制系统中的单元技术 :激光三角法测距和比例积分差动 ( PID)控制的实现方案 .我们采用仅有一路伺服控制的光电控制系统进行实验 ,获得了绞好的结果 .实现了悬浮体的开关式悬浮控制 .证明了我们的光电控制系统是完全可行的
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