宽束矩形冷阴极潘宁离子源研究

被引：5

作者：

欧阳礼仁

郑德修

机构：

[1] 西安交通大学电子物理与器件研究所

[2] 西安交通大学电子物理与器件研究所陕西西安

[3] 陕西西安

来源：

关键词：

离子源; 宽束; 矩形; 等离子体显示器; 潘宁放电;

D O I：

10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2003.02.014

中图分类号：

TN304.055 [];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

根据大面积离子束辅助沉积MgO薄膜的需要 ,本文研究了具有并行阳极结构的宽束矩形冷阴极潘宁离子源。在简要说明冷阴极潘宁离子源基本原理的基础上 ,分析了在设计宽束矩形的离子源中主要考虑的问题 ,并给出初步的实验结果。

引用

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