三角法光学非接触测量头应用中的关键技术

被引：9

作者：

吴奎先

杨仁平

张国雄

李敬杰

裘祖荣

于复生

冷长林

机构：

[1] 中国工程物理研究院化工材料研究所

[2] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

[3] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室绵阳

[4] 绵阳

[5] 天津

来源：

关键词：

测量; 非接触测头; 三角法; 标定; 作用半径;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG806 [技术测量方法];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

光学非接触测头在其实际应用中,有一系列问题需要解决.为此,对三角法测量头的灵敏度与特性标定、工件的倾斜与颜色的影响、光束功率与引起的温升、测头的位置找正、测头系统的作用半径标定等应用中的关键技术进行了实验研究,提出了误差补偿、提高调整和标定精度以提高光学非接触测头使用精度的方法.

引用

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