PSD精密薄板在线多点测厚系统

被引：4

作者：

宋殿友 ^{[1
,2
]}

刘铁根 ^{[1
]}

丁小昆 ^{[1
]}

李志宏 ^{[1
]}

机构：

[1] 天津大学精密仪器与光电子工程学院

[2] 天津理工大学电信学院,薄膜电子与通信器件天津市重点实验室

来源：

应用激光 | 2012年 / 01期

基金：

天津市科技支撑计划;

关键词：

PSD; 差动激光三角法; 微位移; 薄板测厚;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH821.1 [];

学科分类号：

摘要：

为满足精密薄板厚度在线测量的精密性、实时性和可靠性要求,将基于调制、带通滤波和峰值检测的信号处理技术与激光三角法相结合,设计了高精度PSD微位移传感器,并利用多个传感器和差动三角法制作了采样速率达到1 kHz,测量厚度范围为6 mm,测量精度可达10μm的薄板多点测厚系统原理样机。系统基于SOPC技术,在FPGA内扩展了多个串口作为测量数据传输通道,同时采用ARM9微处理器做控制中心,利用其内部的SMC(静态存储控制器)与FPGA连接,实现了测量数据的实时传输、处理和显示。最后,对系统的稳定性以及影响因素进行了测量和分析。

引用

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页数：4

共 8 条

[1] 热轧薄板测量系统中激光波长的优选 [J].