金刚石薄膜低压生长技术

金刚石薄膜是一种高新超硬材料，它集机、电、光、声、热众多优异特性于一身，它是国内外科学最为热门的研究课题。本文作者结合自己多年的研究工作，就金刚石薄膜的生长（合成）技术、生长机理与结构检测，以及特性与应用，分几篇作一较为系统的评述。