一种新型硅微机械粘滞型谐振真空计

被引：7

作者：

王亚强

金仲和

王跃林

丁纯

机构：

[1] 浙江大学信息与电子工程学系!杭州

来源：

真空科学与技术 | 1997年 / 03期

关键词：

静电力; 微机械; 谐振真空传感器; 闭环振荡电路; 粘滞型谐振真空计;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.1997.03.002

中图分类号：

TB77 [真空测试及仪器];

学科分类号：

0804 ;

摘要：

在对静电激励硅微机械谐振真空传感器研究的基础上，实现了一种新型的粘滞型谐振真空计。并给出了理论分析和实验结果。测试表明，其有效量程为1～1．33×103Pa。

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