利用原子力显微镜在Au-Pd合金膜上制备纳米结构

被引：7

作者：

陈海峰

宋家庆

李春增

蔡生民

刘忠范

机构：

[1] 北京大学化学与分子工程学院智能材料研究中心!北京

[2] 北京大学化学与分子工程学院智能材料研究

来源：

科学通报 | 1998年 / 18期

关键词：

Au-Pd合金膜; 原子力显微镜; 纳米加工; 机械刻蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383 [特种结构材料];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

利用自行开发的SPM刻蚀系统在Au Pd合金膜上成功地机械刻划出纳米尺度的孔洞、沟槽和复杂的图形 ,最小线宽达 2 5nm .该系统可以很方便地用来加工所需要的任意纳米图形 ,并且AFM图象表明机械刻划出来的纳米结构非常清晰 ,真实地反映出待刻图形的细节而没有变形 ,这说明该刻蚀系统具较高的可靠性和可控性 .同时 ,实验结果表明我们制得的Au Pd合金膜非常平整并具备优良的机械刻划性能 ,它可以被用作为制备纳米器件的掩膜或直接用于纳米结构的制备 .

引用

页码：1950 / 1953

页数：4

共 12 条

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