超大规模集成电路生产环境空气含尘浓度的预测

被引：3

作者：

王毅勃

王唯国

机构：

[1] 电子工业部第十一设计研究院

来源：

关键词：

超大规模集成电路; 超大规模集成; 空气含尘浓度; 圆片加工;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN407 [测试和检验];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

<正> 本文为了适应21世纪初期超大规模集成电路发展的需要,提出了预测空气含尘浓度的方法。建立了空气含尘浓度C和空气粒子最大允许值E之间的关系式,计算出和IC集成度相对应的圆片加工区的空气含尘浓度C值。

引用

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