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微系统技术
被引：1
作者：
封松林
王渭源
王跃林
祝向荣
机构：
[1] 中科院上海微系统与信息技术研究所
来源：
关键词：
微系统;
微电子;
微机械光开关;
压阻式压力传感器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN4 [微电子学、集成电路（IC）];
学科分类号：
080903 ;
1401 ;
摘要：
<正> 微系统(Micro System)也称微机电系统(MEMS)或微机械加工(Micro Machining)是指集成了微电子和微机械的系统,或除此外还将微光学、化学.生物等其他微元件集成在一起的系统(集成微光机电生化系统)。微系统不用传统的加工方式制造.而是以批量化的微电子制造技术为基础.加上特有的三维加工技术,并与IC集成在一起,组成个可以完成信息获取、处理及执行功能的完整信息系统。这思想无论是科学意义还是经济效益都是重大的。微系统技术的发展为解决未来信息系统的微型化问题提供了一条有效途径。
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