射频（RF）溅射镀敷MoS2润滑膜及其结构和润滑性能的研究

本文介绍了RF溅射镀敷MoS2润滑膜的特点、应用前景、成膜的基本原理及其制备工艺。并给出了这种膜在空气和真空条件下的滑动摩擦试验机上所测得的摩擦和耐磨性能结果及利用电子显微镜、电子衍射观察和分析膜的结构和表面形态,用俄歇电子谱仪（AES）对膜中的MpS2和原料MoS2的硫-钼比进行分析的结果。结果表明MoS2溅射膜具有良好的润滑性能和一定的耐磨寿命,在这种膜中既含有“结晶型”结构的MoS2,又含有非晶态的MoS2,它的硫-钼比与原料MoS2相比未发生明显的变化。