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微机电系统的科学研究与技术开发
被引：21
作者：
丁衡高
机构：
[1] 清华大学
来源：
关键词：
微机电系统（MEMS）；微机械；微惯性测量组合（MIMU）;
D O I：
10.16511/j.cnki.qhdxxb.1997.09.001
中图分类号：
TH16 [机械制造工艺];
学科分类号：
摘要：
着重论述了当前国际上微机电系统的相关基础理论研究、微机电系统制造工艺技术的发展、微机电系统发展动态与趋势，最后强调了探索适合我国国情的微机电系统发展途径的重要性。
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