低能电子诱导脱附的理论研究

被引：3

作者：

张彤

毛福明

机构：

[1] 东南大学电子工程系!南京

来源：

关键词：

位势; 解吸; 电子诱导脱附;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB751 [真空获得技术];

学科分类号：

摘要：

论述了低能电子诱导脱附的物理过程和理论机制 ,分析了脱附截面的相关因素并对电子诱导脱附中的物理现象作了解释。简述了低能电子诱导脱附的应用。

引用

页码：60 / 66

页数：7

共 7 条

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