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用浸渍法制造添加Pt的SnO2-x薄膜气体传感器特性
被引：1
作者：
彭士元
机构：
[1] 电子部所
来源：
关键词：
气体传感器;
Pt;
SnO;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
本文研究了含有添加铂的SnO2-x薄膜。SnO（2-x）薄膜是由反应电子来蒸发的烧结SnO2-x粉末而制成。沉积薄膜浸渍于H2PtCl6·6H2O水溶液中并加热。用电子分光仪进行化学分析,研究表面结构和膜的成分,用俄歇电子分光仪和X-射线衍射仪研究薄膜的电性能和Pt添加剂的效应,也研究了气体感器的特性。
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