椭偏仪测量粗糙面薄膜的厚度和折射率的研究

被引：6

作者：

刘崇进，沈家瑞，李凤仙

机构：

[1] 华南理工大学

来源：

光学技术 | 1995年 / 03期

关键词：

漫反射，粗糙面，椭偏仪;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.1995.03.005

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

本文阐述了漫反射系数和粗糙面薄膜的厚度，寻出了漫反射椭偏测量术的方程，实用中测量了湿敏元件的湿敏薄膜厚度。

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